SPELLMAN高压电源维修斯派曼高压发生器维修

广州杰控自自化设备有限公司提供专业射频AE电源系统: AE电镀电源、AE射频电源 RFG:RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2VRFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV

美国COMDEL射频电源: 应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
 CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频(VHF)电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源


美国SEREN(赛恩)电源:R系列射频电源:R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13 HR系列射频电源:HR601HRL10011001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001 L系列低频电源:L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源:专用于ICP领域
AT系列自动匹配器:AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250