SANKYO三协双臂真空输送机器人SR8651

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真空机械手臂是一种能够在真空环境下工作的机械手臂,主要应用于半导体和液晶产业中,实现晶圆或玻璃基板在真空腔室内的运输,是负责真空端不同工位间晶圆传送的关键自动化设备。真空洁净机械手臂和大气洁净机械手臂不同的地方在于需要使用真空密封装置来实现运动机构的动力传输。真空密封装置主要有磁流体密封方式,真空电机方式以及特种橡胶圈密封方式等。真空搬运机械手臂由于不使用气体真空吸附系统和气缸等,因此搬运时保持晶圆在机器手上的稳定比较困难。因此,此前只能以150~200枚/时的速度搬运晶圆。此次,通过改进保持晶圆稳定的真空内的夹具,即使高速搬运,机器手上的晶圆也不会错位。此系列真空机械手臂大部分组件采用不锈钢或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料。三协真空双臂晶圆搬运机械手臂由轻结构钢管构件、真空吸盘、真空器、电磁控制阀、真空开关等零部件组成,因此运动控制离合器、连接件和横拉杆等部件的重量都减轻了不少,这也进一步地提高了三协真空机械手臂的运动性能。

三协真空双臂晶圆搬运机械手臂SR8652参数:

真空度:1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

动作范围「RR/RL 轴」(㎜):2720;

动作范围「Z 轴」(㎜):465(Solar)/670(LCD);

动作范围「θ轴」(deg):+140~-185;

三协双臂真空搬运机械手臂SR8651参数:

真空度(Pa):1.33×10-2;

自由度:5-AXIS(all AC-servo controlled);

动作范围「RR/RL 轴」(㎜):2400;

动作范围「Z 轴」(㎜):250/450;

可动范围「θ轴」(deg):+140~-185;

?控制器小型轻量化;

?使用了陶瓷手臂来应对高温环境;

?足以应对从常温到高温的变化;

?降温系统使其能应对高温环境;

?驱动单元模块化、易于维护;

?ARM驱动部使用了高精度部件和电能回馈结构;

?多达3段的Z轴使高度可动范围增大;

?R部和机械手臂本体的分割设计、使其易于保养也易于进入腔体。